等离子光谱仪拥有拥有大型的光谱仪所不拥有的优势，如重量较轻、体型小、探测速度更快、方便使用、可集成化、可大批量生产制造及其成本费较低等，这导致该仪器在各行业拥有很广泛的应用前景。

　　精度自始至终是决策等离子光谱仪测量的核心，解析的是被测试品在各光波波长下吸取或反射的光强的大小。而在具体光谱仪设计构思生产制造中会具有相应的误差，这就难以用简单的光栅公式计算直接预测分析波长的具体地址。

　　在等离子光谱仪中，光波波长是由CCD像素所体现的，因而在具体测量中因为环境和时间的影响会造成光波波长与像素相互之间的转变 ，光谱仪中各CCD像素所相对应的具体光波波长务必确切明确，不然测量的准确性便会减少。因此 ，以便获得确切的测量结果，光谱仪在应用前务必开展严苛的标定，明确CCD像素和光波波长的对应关系。

　　依据误差的特性及形成缘故，系统误差的由来可分成下边几种：

　　(1)标样和样品中的成分和化学构成不完全一致时，很有可能造成基体线和分析线的强度更改，进而引进误差。

　　(2)标样和样品的物理性能不完全一致时，激起的特征谱线会出现差别进而形成系统误差。

　　(3)浇注情况的钢样与通过退火、淬火、回火、热轧、锻压情况的钢样金属组织架构不一样时，测到的数据资料会有一定的差别。

　　(4)不明元素谱线的重叠影响。如熔炼流程中添加脱氧剂、除硫磷剂时，混进不明合金元素而引进系统误差。

　　(5)等离子光谱仪要清除系统误差，务必严苛依照规范试品制备规定要求。以便查验系统误差，就需要选用化学分析方式 解析数次校对结果。