等离子光谱仪在应用环节中难免会有应用欠妥的地区，以至于仪器设备使用寿命的降低，因此 在应用等离子光谱仪的情况下还要加强防护工作，以下是几个有关等离子光谱仪的应用及其维护保养
　　1、对进样系统软件及炬管的维护保养
　　雾化器是进样系统软件中高精密，主要的部分，要有效的维护保养和应用。要定时的洁净，尤其是测量高盐溶液以后，雾化器的顶端，炬管喷嘴会积有盐份，导致气溶胶管道不畅，常常反映出的是测量强度降低，仪器设备反射功率上升等。炬管上积尘或积碳都是会干扰引燃等离子体焰炬和平稳，也干扰反射功率，因而，要定时用酸洗，水洗，在最后，用无水乙醇洗并烘干，常常维持进样系统软件及炬管的洁净。

　　2、对气体系统控制的维护保养
　　ICP的气体系统控制是不是平稳正常地运作，可以直接干扰到仪器设备测量数据的优劣，假如气路中有水珠、机械杂物杂屑等都是会导致气流不稳定，因而，对气体系统控制要常常开展检测和维护保养。
　　3、防尘
　　国内通常实验室都不怎么具有防尘、过滤尘埃的离子光谱仪，当实验室内要选用排风机，排出仪器设备的热量及工作时造成的有害物质时，实验室与外界就产生压力差，实验室造成负压，户外带有大量的尘土的空气从窗门的间隙中流向房间内，大量的堆积在仪器设备的每个部位上，易于导致高压元件或接头点火，电路板及接线、插座等短路、漏电等各种的系统故障，因而，要常常开展除尘。针对仪器设备除尘，通常由电子，仪修或电脑的专业人士协助，仪器设备应用或管理人员如不太懂电子专业知识，不了解仪器设备构造，不可以随便去动，以防出现意外，除尘应事前关机并关闭供电电源下开展。